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VP-60.80系列等离子清洗机

产品特点:

真空腔体采用铝合金制作而成。

超低温：温度低至40度

全方位表面清洗：异向等离子体可以进入超细狭缝清洗

环保：处理前后无有害物质产生，远离有害溶剂对人体的伤害

稳定：连续性和恒定性来维持机器设备运行时的稳定性

清洗:去除灰尘和油污，精细清洗和去静电

活化：提高表面的附着能力，物体表面能大幅增加

褪镀：AF/AS 层褪镀

技术规格:
功能配置技术参数
型 号VP-60LVP-80LVP-100LVP-150L
外型尺寸 (mm)L=1200 W=920 H=1690
真空腔内尺寸 (mm)L=403 W=400 H=403L=450 W=400 H=450L=470 W=460 H=470L=500 W=600 H=500
真空腔材质不锈钢
电极板尺寸 (mm) 319（L）×374（W）320（L）×420（W）380（L）×440（W）520（L）×470（W）
电极板材质专用铝电极
重 量560KG580KG630KG680KG
控 制PLC+ 触摸屏
电极板结构水平 8 层
真空泵系统两级油旋片真空泵、罗茨真空泵组
真空测定系统皮拉尼电阻真空计
气体测量系统高精密质量流量计
等离子发生器高精密 0-500W 等离子发生器高精密 0-1000W 等离子发 生器
等离子匹配器高精密 0-500W 自动匹配器高精密 0-1000W 自动匹配 器
工作真空度10-100 Pa
真空泵极限压力5×10-1 Pa
抽真空时间≤ 55S≤ 70S≤ 80S≤ 100S
破真空时间≤ 15S≤ 20S ≤ 25S≤ 30S
气体控制范围质量流量 0-300SCCM （可自选）质量流量 0-500SCCM( 可 自选 )
射频电源0-500W（范围内可调）0-1000W（范围内可调）
操作模式人工取放，一键全自动操作
电 源三相 380V
总功率 4 KW4.5 KW

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